1. 超高解析微孔徑分析功能，解析度可至0.1torr。
2. 具備兩個除氣站，及1~2個分析槽。
3. 擴充性強，如化學吸附、水蒸氣吸附各種功能。
4. 專利RTD液氮感應自動上昇。
5. 90小時以上杜瓦 (Dewar) 瓶。
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